Поделиться
Для разработки литографов, необходимых для производства чипов, восстановят синхротрон, построенный еще в СССР
Специалисты новосибирского Института ядерной физики планируют восстановить технологический накопительный комплекс (ТНК) в Зеленограде, который не был запущен из-за развала Советского Союза. Комплекс будут использовать для разработки литографов, необходимых для выпуска чипов. Так ученые подставят «плечо» отечественной электронной промышленности и сэкономят 9,5 млрд руб.
«Плечо» для электронных компаний
Специалисты Института ядерной физики (ИЯФ) им. Г. И. Будкера СО РАН (Новосибирск) за три года планируют восстановить технологический накопительный комплекс (ТНК) в Зеленограде, пишет ТАСС со ссылкой на заявление директора ИЯФ академика РАН Павла Логачева.
«Технологический накопительный комплекс будет востребован для разработки отечественной технологической цепочки производства микроэлектроники. Это будет основной инструмент, который позволит создавать, испытывать и отлаживать технологию так называемых литографов, которые делает, фактически, одна компания в мире», — сказал Логачев.
По словам академика комплекс запустят через три года, он «будет основным элементом разработки литографа»: «Мы ставим задачу создать все необходимые средства разработки, подставить плечо нашим электронным компаниям, государственным институтам для того, чтобы сделать полностью отечественное оборудование для микроэлектроники».
Стоимость проекта — около 500 млн руб. Создание ТНК с нуля стоило бы на сегодняшний день около 10 млрд руб.
Также сотрудники ИЯФ СО РАН совместно с учеными Центрального научно-исследовательского института точного машиностроения в Зеленограде приступили к созданию промышленного ускорителя ионов для отечественного имплантора, который с помощью пучков ионов вводит необходимые химические элементы в пластину полупроводника на нужную глубину для созданий микросхем.
Финансирование создания отечественной технологии производства микроэлектроники будет осуществляться из разных источников — от Минпромторга России, Курчатовского института и правительства Москвы.
Что такое ТНК?
«Технологического накопительного комплекса» — так называется синхротрон на языке специалистов. Он представляет собой большое кольцо, по которому в вакууме по изогнутой траектории летает со скоростью, близкой к скорости света, пучок электронов, писал о зеленоградском комплексе сайт «Зеленоград.ру» в 2020 г.
При повороте электроны дают рентгеновское излучение, уникальное по своим характеристикам — с его помощью можно изучать материалы и химические реакции. Свет синхротрона позволяет увидеть атомную структуру вещества, процесс возникновения и разрыва химических связей между атомами.
Вспышка синхротронного излучения длится меньше миллиардной доли секунды и повторяется каждый период обращения пучка электронов, то есть, с перерывом в несколько микросекунд. В «свете» этой вспышки удобно изучать как структуру вещества, так и интенсивные процессы, протекающие очень быстро.
Если взглянуть на синхротрон сверху, то он похож солнце, каждый луч которого «согревает» отдельную «планету» — лабораторию. В 115-метрой окружности проделаны 37 «отверстий» для использования излучения. Значит, на синхротроне можно производить одновременно 37 научных исследований.
Советский синхротрон
В строительство было вложено порядка $100 млн. Синхротрон в Зеленограде предназначался в первую очередь для нужд советской микроэлектроники, которая в то время активно развивалась, конкурируя с западными странами.
Изначально планировалось, что зеленоградский синхротрон будет работать на две цели: получение сверхбольших и сверхбыстродействующих интегральных схем и изучение физики поверхности вещества.
ИЯФ разработал ТНК еще на рубеже 1980-1990 гг., однако установка не была запущена из-за развала Советского Союза, как сказал Логачев.
В настоящее время корпус для ТНК, расположенный рядом с заводом «Микрон» в Зеленограде, принадлежит Курчатовскому институту, по данным Интерфакса.
Короткая ссылка
