Поделиться
В России строят крупнейшую в истории фабрику кристаллов для силовой электроники
На территории предприятия «Ростеха» — «Исток» к 2030 г. запустят самое масштабное производство кристаллов для силовой электроники. Вложения в проект могут сосвить десятки миллиардов рублей.
Новая «Фабрика»
Как выяснил CNews, производитель СВЧ-электроники «Исток» им. Шокина (входит в «Ростех») планирует организовать крупнейшее в стране производство кристаллов. Его мощность достигнет 24 тыс. пластин ежегодно к 2030 г. Об этом в рамках форума «Микроэлектроника 2025» сообщил заместитель гендиректора «Истока» Сергей Щербаков.
Согласно презентации «Истока», ежемесячная мощность производства составит 1 тыс. GaAs (арсенид галлия) пластин и 1 тыс. GaN (нитрид галлия) пластин. Кристаллы предназначены для СВЧ-транзисторов и монолитных интегральных схем СВЧ.
В качестве топологических норм для GaAs указаны 0,5 мкм, 0,25 мкм, 0,2 мкм и 0,1 мкм. Для GaN — 0,25 мкм, 0,1 мкм, 0,06 мкм и 0,04 мкм. Диметр пластин, с которыми будет работать «Исток» составит 150 мм.
Представители «Ростеха» и «Истока» не ответили на запрос CNews о подробностях проекта.
Подробности производства
По данным Щербакова, проект по запуску кристального производства получил название «Фабрика». Располагаться завод будет во Фрязино.
Проект «Фабрика» будет включать центр проектирования СВЧ-изделий, фабрику производства подложек (линия производства подложек из арсенида галлия и карбида кремния), а также линию производства подложек из высоомного кремния.
Далее идет фабрика кристального производства, которая состоит из линии производства GaAs и GaN.
В качестве базы для подготовки кадров указаны РТУ МИРЭА, НИУ МИЭТ, МИСИС и др.
Кристальные производства в России
По данным Щербакова, имеющиеся сегодня российские кристальные производства обеспечивают выпуск СВЧ-приборов на основе арсенида галлия в объеме не более 5 тыс. пластин (диаметром 76 мм) ежегодно. При этом Россия потребляет около 20-25 тыс. пластин. То есть отечественные производители покрывает только 20-25% потребностей рынка.
«Производство во Фрязино вполне может оказаться самым крупным в стране после выхода на полную проектную мощность, — рассказал CNews автор Telegram-канала RUSmicro Алексей Бойко. — Предполагаю, что это предприятие обеспечит большую часть потребностей российского рынка в силовых приборах».
Бойко пояснил, что пластины необходимы для формирования на них полупроводниковых структур будущих силовых компонентов, транзисторов и интегральных микросхем. Для получения пластин исходные материалы загружают в кварцевый тигель, нагревают его, и вытягивают из расплава кристалл. Монокристалл после охлаждения нарезают на пластины, шлифуют их, полируют и травят. Эта пластина становится заготовкой для фотолитографического процесса формирования необходимых полупроводниковых структур.
Стоимость проекта «Ростеха» сильно зависит от его глубины интеграции (производство подложек или закупка субстратов, собственная эпитаксия MOCVD/MBE, класс чистоты, автоматизация, классы помещения и инфраструктура, система контроля качества, отладка технологических процессов и подготовка кадров), считает глава холдинга SNDGLOBAL Ольга Квашенкина.
«Реалистичная оценка составит от нескольких миллиардов рублей (если это в основном переоснащение и NPI с опорой на существующую базу «Истока» и максимальной поддержкой государства) до десятков–сотен миллиардов, если задача сделать полностью современную, конкурентоспособную фабрику с собственной подложечной базой, высокой степенью локализацией оборудования и полномасштабными R&D-инфраструктурами», — отметила Квашенкина.
Схожее производство собирается запустить и микроэлектронный холдинг «Элемент».
Технопарк за 5,8 миллиарда
Сергей Щербаков в рамках доклада предложил создать полигон для тестирования специального технологического оборудования, а также специально и особо чистых материалов для производства СВЧ-электроники на территории «Истока».
Площадь такого помещения, по задумке «Истока», составит 10 тыс. кв. м. Объем финансирования, который потребуется для полигона составит 5,8 млрд руб.
Если начать его проектировать в III квартале 2025 г., то он будет введен в эксплуатацию с I квартала 2027 г., следует из презентации.
Короткая ссылка
