Поделиться
Россия начала поставлять на микроэлектронные предприятия собственные литографы
Первый российский литограф с разрешением 350 нм будет поставлен на фабрику компании «Отраслевые решения». Она входит в контур группы «Элемент» и отвечает за направление силовой электроники.
Поставка литографа
«Зеленоградский нанотехнологический центр» (ЗНТЦ) поставит первый российский литограф с разрешением 350 нанометров — компании «Отраслевые решения» (входит в контур группы «Элемент»). Об этом сообщили CNews в «Элементе».
«Отраслевые решения» была создана для локализации в России всей производственной цепочки силовой электроники, востребованной в энергетике, тяжелом и легком машиностроении, приборостроении, авиации и других отраслях промышленности.
Первый отечественный литограф предназначен для проекционного переноса изображения фотошаблона на полупроводниковую пластину и мультипликации его на пластине при изготовлении сверхбольшой интегральной схемы (СБИС) с проектной топологической нормой 350 нм. Эти нормы используются для изготовления элементной базы в силовой и автоэлектронике, а также в промышленных системах.
Цену установки разработчики не раскрывают.
О литографе
Разработка велась совместно с белорусской компанией «Планар» в рамках тендеров Минпромторга, выигранных ЗНТЦ в 2021 г. Работы по литографу были завершены весной 2025 г. Сейчас идет работа над следующим поколением — оборудованием с разрешением 130 нм.
Литограф имеет рабочее поле с площадью 22 х 22 мм и способен обрабатывать пластины, имеющие диаметр в 200 мм.
Рабочая длина волны установки составляет 365 нм. Срок ее службы составляет не менее пяти лет, а вес — 3500 кг.
Оборудование создано для обеспечения технологической независимости и предназначено для модернизации существующих и оснащения новых микроэлектронных производств.
«В ходе проекта мы совместно с ЗНТЦ работали над технологией переноса изображения под задачи Элемента и Микрона. Подтверждено соответствие всем параметрам, заявленным в техзадании на ОКР», — отметила Гульнара Хасьянова, генеральный директор АО «Микрон».
О сторонах
«Зеленоградский нанотехнологический центр» обеспечивает полный цикл разработки и производства микросхем. Приоритетным направлением деятельности компании является развитие современных технологий производства и разработка перспективной высокотехнологичной продукции совместно с ведущими российскими научными организациями и производственными предприятиями.
«Элемент» — крупнейший производитель российской микроэлектроники. Компания была создана в 2019 г. на базе активов АФК «Система» и «Ростеха». В группы вошли крупнейший производитель чипов в России — зеленоградский «Микрон», НИИ электронной техники, НИИ электронной и микроэлектронной аппаратуры «Прогресс», а также завод полупроводниковых приборов, «ВЗПП-Микрон» (Воронежский завод полупроводниковых приборов) и другие компании.
Предприятия «Элемента» занимаются производством интегральных микросхем, полупроводниковых приборов, силовой электроники, модулей, корпусов для микросхем и контактирующих устройств, а также радиоэлектронной аппаратуры.
Короткая ссылка
