Поделиться
Россияне строят и будут продавать по всему миру электронные микроскопы для поиска дефектов в микроэлектронике
Дочерняя структура «Элемента» разрабатывает микроскоп для анализа дефектов материалов. Разработчики планируют продавать ее по цене китайских аналогов и не только на отечественный рынок, но и за рубеж.
Приборы от «Нанотроники»
Как выяснил CNews, входящая в микроэлектронную группу предприятий «Элемента» - «Нанотроника» ведет разработку растрового электронного микроскопа (РЭМ) для анализа дефектов в различных материалах, от металлов и сплавов до полимеров и полупроводников.
Такие установки относятся к аналитическому оборудованию. Сейчас Россия полностью зависит от импортных поставок, отметил представитель «Нанотроники».
«Нанотроника» разработала макет микроскопа и проводит испытания установки. Релиз оборудования состоится в 2026-2027 г., следует из презентации компании. «Накопленный задел и созданная технологическая база позволяют закрыть потребности российских производителей микроэлектроники в аналитическом оборудовании на перспективу до пяти-семи лет», - отметил представитель компании.
Разработка ведется за счет средств «Элемента». «Мы ориентируемся, что конечная цена для потребителя будет находиться на уровне популярных китайских аналогов», - рассказал CNews представитель «Нанотроники».
«Мы видим свою нишу в замещении импортных установок начального и среднего класса, которые сегодня наиболее востребованы в университетах, отраслевых НИИ и на промышленных предприятиях для контроля качества, - продолжили в компании. - Мы планируем занять значительную долю этого сегмента, предлагая не просто прибор, а полный цикл технической поддержки и сервиса».
«Нанотроника» планирует поставлять установки не только на рынок России, но и мира, в особенности стран СНГ.
Макет установки
Макет растрового электронного микроскопа «Нанотроники» состоит из электронно-оптической колонны, который отвечает за формирование электронного пучка, сканирование поля исследования, а также регистрацию электронов с формированием измерительных сигналов.
Помимо этого, установка содержит вакуумную систему, которая создает и поддерживает вакуум, а также измеряет давление во всех ключевых точках тракта.
Также она состоит из технологического блока и системы загрузки и выгрузки пластин. Например, макет содержит в себе вакуумный стол для перемещений и позиционирования пластины, а также камеру для их фиксации. Еще один элемент установки – это система АСУ (управления модулями и составными частями), которая отвечает за обработку измерительных сигналов.
Установка разрабатывается с возможностью использования различных типов катодов - на вольфраме и гексабориде лантана, что обеспечит более низкую стоимость эксплуатации, но при этом позволит пользователю добиваться максимального разрешения и стабильности, отметили в «Нанотронике».
Что такое растровый электронный микроскоп
Растровый электронный микроскоп (РЭМ) используется для анализа дефектов благодаря способности получать изображения поверхности материала с высоким разрешением и получать информацию о составе материала. Он позволяет выявлять дефекты на поверхности, проводить количественный элементный анализ и изучать влияние внешних условий (температура, растяжение) на материал.
РЭМ создает детальные трёхмерные изображения поверхности образца, на которых чётко видны трещины, поры, царапины и другие поверхностные дефекты. Он также позволяет исследовать микроструктуру материала на наноуровне, что важно для понимания причин возникновения дефектов.
Прибор может использоваться для анализа полупроводниковых приборов.
Короткая ссылка
