|
Поделиться
Поделиться
Interface Ltd. и ИПТМ РАН представили комплекс NanoMaker
Компания Interface Ltd. совместно с ИПТМ РАН представила на техническом симпозиуме в рамках выставки SEMI CIS 2002 программно-аппаратный комплекс NanoMaker. NanoMaker - это обширный набор возможностей для проведения электронной литографии с помощью стандартных растровых электронных микроскопов.NanoMaker дает возможность экспонировать 2D- и 3D-структуры с высокой точностью. При подготовке данных и экспонировании программно корректируются эффект близости и дефекты развертки электронного пучка (динамические задержки пучка и искривление поля). Внедрение такого комплекса в научно-исследовательских лабораториях позволяет получить существенный экономический эффект.
Источник: собственная информация CNews.ru.
Короткая ссылка
