Mentor Graphics и Toshiba совместно разработают 0,13 мкм технологический процесс

Компания Mentor Graphics Corporation из Орегона, США, сообщила о начале поставок оборудования для линий по выпуску полупроводников на основе 0,13 мкм техпроцесса японской корпорации Toshiba Corporation.

Mentor Graphics поставит набор калибровочного оборудования Mentor Graphics Calibre. В дополнение к уже используемому оборудованию линии Calibre для проверки физических параметров изделий, Toshiba и ее подразделение Toshiba Microelectronics Corporation теперь будут использовать основанное на приборах Calibre технологическое оборудование потоковой оптической и фото коррекции (OPC), позволяющее добиться большей точности обработки.

Линейка оборудования Calibre OPC - Calibre OPCpro, Calibre MT-OPCpro, Calibre Workbench, Calibre ORC и Calibre PRINTimage - позволяет добиться полного пакетного контроля оборудования для уменьшения производственного брака и разброса характеристик изделий, сообщил Electic Tech.