Applied Materials представила 21 систему для производства микросхем с использованием 300 мм пластин

Компания Applied Materials Inc., лидирующий производитель оборудования для производства микросхем, сообщила, что в её арсенале уже имеется 21 установка для производственного процесса на базе 300 мм (12 дюймовых) кремниевых подложек и 0,13 микронной технологии. Эта линия оборудования, по словам компании, позволяет выполнять около 80 различных технологических операций, что составляет около 75% от всего техпроцесса производства микросхем. Преимущества таких систем очевидны - на одной пластине диаметром 300 мм располагается в 2,5 раза большее количество кристаллов по сравнению с 200 мм пластиной.
В настоящее время несколько компаний, включая Intel, AMD, TSMC и Infineon, ведут внедрение такого оборудования. По прогнозу производителей, массовый выпуск микросхем на базе 300 мм пластин начнется в 2003 году.