Поделиться
В России впервые за много лет создадут ионный имплантер!
В России спустя долгое время, благодаря консорциуму предприятий Зеленоградских АО НИИТМ и АО «НИИМЭ», входящих в ГК «Элемент», с участием ИЯФ СО РАН, создают серию установок ионной имплантации для микроэлектронной отрасли. Об этом CNews сообщили представители АО НИИТМ.
Планируемые к созданию установки предназначены для реализации технологии производства приборов МЭ с проектной нормой 90 нм, импортозамещения и замены отечественного оборудования прошлых лет. Ионные имплантеры смогут перекрывать диапазон энергий однозарядных ионов, требуемых в технологии масс (от бора до сурьмы) от 0,2 до 270 килоэлектронвольт (среднетоковая) и от 10 до 1 тыс. килоэлектронвольт (высокоэнергетическая).
На данный момент сотрудники АО НИИТМ с участием ИЯФ СО РАН разработали эскизный проект среднетокового имплантера и приступили к созданию экспериментального образца установки, а также начали разработку высоковольтного имплантера. Первые экспериментальные образцы установок планируют изготовить и испытать на соответствие требованиям технологии в 2025 – 2026 гг.
Дальнейшее развитие работ предполагает создание опытных образцов и организацию серийного производства отечественных имплантеров, не уступающих по производственным возможностям современным зарубежным, что повысит технологический суверенитет России.
Финансирование создания отечественного оборудования ионной имплантации осуществляется за счет средств Минпромторга России.
Короткая ссылка
