|
Поделиться
Поделиться
Lambda Physik и Jenoptik будут разрабатывать технологию сверхультрафиолетовой литографии
Lamda Physik AG и Jenoptik Laser Optik Systeme GmbH объявили о совместной работе над технологией сверхультрафиолетовой (EUV) литографии. Для этого создается новое предприятие Xtreme Technologies GmbH, долевое участие в которой будет поделено поровну между этими немецкими компаниями.Компания будет выпускать лазеры с еще более короткой длиной волны для производства микрочипов. Партнеры намереваются использовать 4 волны для микролитографии: 248, 193, 157 и 13.5 нм. Наименьшая длина волны, с которой могут использоваться эксимерные лазеры, - 157 нм. Поэтому производителя надеются на сверхультрафиолетовую технику.
Кроме литографии, руководство компании надеется найти применение источников сверультрафиолета и в других областях. Появление их первых прототипов можно ожидать в 2002 г.
Короткая ссылка
