28.12.2023 Ученые ТПУ приступили к этапу изготовления станции «Микрофокус» для СКИФ 1

21.10.2022 В России создадут литограф для выпуска чипов с топологией 7 нм 1

05.07.2022 «Ростех» создал кремний из российских материалов для производства электронных приборов 1

18.05.2022 В России создают «железо» для производства чипов 28 нм 1

09.07.2008 Интерференционная литография: получено рекордное разрешение 1

21.03.2002 ИФМ РАН провел конференцию, посвященную нанотехнологиям 2