Электроника - Фотолитография - Extreme Ultraviolet Lithography, EUV, EUVL - FinFet EUV-литография - Deep Ultraviolet, DUV - Фотолитография в глубоком ультрафиолете - Optical Proximity Correction - Коррекция оптической близости 150 1
Infrared - ИК-излучение - Инфракрасное излучение 40 1